半导体设备仿真

结合设备结构和控制参数，通过多物理场耦合仿真，揭示设备运行机理，利用图形化交互页面，为用户呈现设备运行状态，使得等离子体设备研发设计与后续工艺流程验证迭代更加准确、高效。