原子级与材料仿真

为用户提供微观尺度的工艺仿真环境。利用第一性原理，机器学习以及分子动力学模拟对半导体器件加工过程进行微观尺度的仿真。为材料的选择和应用提供理论依据，实现器件结构的优化和器件性能的提高。